行家网记者 刘大帅 济南报谈

　　半导体本事是东谈主工智能、物联网和量子策画等数字产业发展的基础，对经济增长、本事逾越起到显耀的带动效应。打造“芯”高地、布局“芯”改日。频年来，济南高新区以第三代半导体材料为打破口，依托“产、学、研”协同生态，变成了从中枢材料、高端装备到芯片设想的全链条布局，半导体产业乘势“腾飞”。

　　破局“芯”路 攻关关节中枢本事

　　半导体征战包括光刻机、刻蚀机、薄膜千里淀征战、涂胶显影征战、离子注入机等，这些征战的性能凯旋影响芯片的制造精度和质地。在这其中，离子注入机主要在半导体制造经过中，将硼、磷、砷等元素植入到硅晶原材料上，从而窜改半导体材料的电学性能，其征战难度仅次于光刻机。

　　本年6月底，济南市艾恩半导体科技有限公司首款自主研发的硅基中束流离子注入机到手下线，这一打破为济南集成电路产业补链强链再添关节一环。

　　艾恩(山东)半导体科技有限公司成立于2023年11月，注册老本3500万元，是广州市艾恩半导体科技有限公司的全资子公司。回思从前期融资到决心来济南扎根发展的经过，艾恩半导体独创东谈主钟新华悲喜交加。“半导体装备制造这个圈子很小，团队共事来自日东月西，济南这边的园区环境、行业氛围都可以。”钟新华说。

　　据先容，艾恩半导体技俩总投资3亿元，年产能达30台，其价钱降至入口同类装备的1/2，但仍高达1500万元/台。一台离子注入机由近2万个零部件组成，收货于山东省的产业配套上风，艾恩半导体卓著50%的零部件能省内完成采购和加工，显耀缩小供应链风险。到本年年底，艾恩半导体将录用4台征战，展望产生销售收入5000多万元。

　　目下，钟新华与共事正在攻关第二代碳化硅离子注入机，展望9月面世，这将是首款国产替代家具。改日三至五年内，艾恩半导体将进一步整合产业链本事和资源，戮力成为国内高大的离子注入机装备供应商，家具质能达到海外水平。

　　聚能起势 多元布局加快起势

　　相同坐落于王人鲁软件园的，还有山东高云半导体科技有限公司（以下简称“高云半导体”）。高云半导体成立于 2014 年3月，是一家竭力于可编程逻辑芯片（FPGA）家具国产化，是提供集设想、软件、IP核、参考设想、开发板、定制办事等一体化完好贬责决策的国度高新本事企业。高云半导体当今也曾完成了55nm和22nm工艺FPGA家具的研发和量产。2021年头两款家具到手通过车规认证，是国内首家终局车规芯片量产的国产FPGA厂商，家具也曾到手哄骗于通讯、工业、汽车电子、耗尽电子等领域，并初步出口至友意思国、韩国、日本等多个国度和地区。

　　“这款芯片主若是哄骗在通讯领域、汽车电子、耗尽类电子还有工控领域。它其中一个上风是通过了AEC-Q100测试，也便是它的可靠性、抗老化性都是有保险的。这款家具通过了AEC-Q100 grade2的测试，那就意味着芯片在-40℃至+105℃都能日常责任。”高云半导体软件工程总监杜金凤为记者先容了一款企业研发的芯片。据悉，舍弃当今，公司肯求自主常识产权统共80多项，其中发明专利肯求30项，授权12项、集成电路布图设想6项、实用新式13项、外不雅设想1项、软件著述权37项。

　　杜金凤暗意，企业的发展离不开园区的支执与办事。频年来，高云半导体通过园区的集成电路设想全球本事办事平台、国产EDA高性能研发平台、集成电路快速封装测试平台终局了家具的研发与测试责任。“园区的集成电路全球办事平台为咱们的家具研发省了大钱！”杜金凤说。

　　频年来，王人鲁软件园打造了山东省范围最大、资源配套最王人全、本事起原进的集成电路全球办事平台，累计插足资金约1亿元。依托平台撑执，园区暴清晰联暻半导体、世芯电子、概伦电子、高云半导体、方寸微等一批优秀的集成电路设想企业，济南在安全芯片研发、国产FPGA芯片研发，国产EDA器具和设想办事等领域变成产业特点，总体芯片设想水平位居寰宇前哨。

　　立异开动 加力莳植产业能级

　　频年来，济南高新区在集成电路产业执续发力，在关节中枢本事打破与产业技俩鼓舞方面效果丰硕。其中，2024年，王人鲁软件园获批济南市先进策画产业集群、王人鲁软件园高端软件产业集群、济南面向多行业的“1+N+N”大数据生态产业集群等3个省级产业集群。

　　2008年，经科技部批准，济南王人鲁软件园国度集成电路设想济南产业化基地成立，是当今国内8个国度级IC基地之一。济南王人鲁软件园发展中心算作济南基地的运营和办事机构，变成了集本事支执、东谈主才办事、金融助推、协同立异、创业孵化、载体保险“六位一体”的全生命周期办事体系。2024年9月，世界集成电路协会（WICA）发布2023年全球集成电路产业详尽竞争力百强城市白皮书，济南市位列榜单第81位。济南算作集成电路设想业京津冀环渤海区域4个主要城市之一，已集合80余家集成电路产业预见企业，初步变成了集“设想—制造—封测—哄骗—撑执”于一体的全产业链发展生态。

　　频年来，园区围绕集成电路企业发展所需的东谈主才、本事、资金、市集等身分，变成了全生命周期的办事体系，在东谈主才培养方面，组织高校与企业开展定制化培养，将企业的内容技俩案例引入课堂，为企业源源延续地运送实用型东谈主才。在全球本事平台竖立方面，与省科技厅创发院共同竖立的EDA设想平台、硬件安全测试平台和快速封装平台以及高性能算力平台等全球办事本事平台。大大缩小了企业的初期插足和研发的成本，得志了企业在半导体工艺开发、IP设想和器件优化等方面的需求。同期积极引进功率器件、智能传感器等领域的企业，助力高新区变成集设想、制造、封装、哄骗、撑执于一体集成电路全产业链生态。

　　现时，王人鲁软件园已变成多个细分产业集群式发展的讲究态势，网络高新本事企业两千余家，产业集群正向更高质地、更高水平演进。